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대기압^시브이디 편집하기 편집 금지 요청
분야
『화학』
「001」대기압 상태에서 반응 용기 내에 열에너지에 의한 화학 반응을 이용하여 고순도·고품질의 박막을 형성하는 공정.

대역어

영어
atmospheric pressure CVD(Chemical Vapor Deposition)

어원

CVD: chemical vapor deposition

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