- 분야
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『공학 일반』
- 「001」대기압 상태에서 반응 용기 내에 열에너지에 의한 화학 반응을 이용하여 고순도·고품질의 박막을 형성하는 공정.
관련 어휘
- 비슷한말
- 대기압^시브이디(大氣壓CVD)
대역어
- 영어
- atmospheric pressure CVD(Chemical Vapor Deposition)
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