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엑스선^노광 편집하기 편집 금지 요청
분야
『재료』
「001」엑스선을 사용한 리소그래피. 집적 회로를 제조하는 과정에서, 마스크의 미세한 패턴을 엑스선으로 반도체 웨이퍼에 전사한다.

관련 어휘

비슷한말
엑스선^리소그래피(X線lithography)

대역어

영어
x-ray lithography

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