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항온 항습실 편집하기 편집 금지 요청
「001」온도와 습도를 일정하게 유지하는 방.
OO는 새 공장에 클린 룸 시설과 항온 항습실을 설치, 미세 먼지를 억제하고 온도·습도를 최적화함으로써 기존에 비해 수율을 10~20%가량 끌어올릴 수 있을 것으로 기대했다.≪전자신문 2008년 4월≫
장비에서 발생하는 열에 대비하기 위해 각 실마다 항온 항습실을 따로 설치했다.≪매일경제 2010년 11월≫
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