- 분야
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『공학 일반』
- 「001」기존의 광학적 리소그래피 방법으로 구현하기 힘든 100나노미터(nm) 이하의 패턴을 만들기 위해 새롭게 연구된 리소그래피 방법들을 통틀어 이르는 말.
관련 어휘
- 비슷한말
- 나노^석판술(nano石版術)
대역어
- 영어
- nanolithography
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