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품사
「명사」
분야
『재료』
「001」반도체의 제조 과정에서, 고밀도의 플라스마를 사용하여 증착막을 개선 한 시브이디 기술.

관련 어휘

비슷한말
고밀도^플라스마^화학^증착(高密度plasma化學蒸着)

어원

high density plasma chemical vapor deposition

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