- 품사
- 「명사」
- 분야
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『전기·전자』
- 「001」산화막이 빠르게 생성되는 산화. 0~25기압에서 증기를 이용한 산화 방식이 쓰인다. ⇒규범 표기는 미확정이다.
관련 어휘
- 비슷한말
- 고속^산화(高速酸化), 에프오엑스(FOX)
어원
high-pressure oxidation process
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