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전자^빔^노광 편집하기 편집 금지 요청
분야
『전기·전자』
「001」브이엘에스아이를 개발할 때, 미세하게 가공하기 위하여 파장이 짧은 전자 빔을 이용한 노광.

관련 어휘

비슷한말
전자선^노광(電子線露光)

대역어

영어
electron beam exposure

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