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석영^보트 편집하기 편집 금지 요청
분야
『공학 일반』
「001」웨이퍼의 운반 또는 고온의 식각 공정을 진행하는 데 사용하는 운반 도구. 석영으로 만들어져 외부에서 발생하는 오염이나 물리적·화학적 충격에 강하며 고온에서도 사용이 가능하다.

대역어

영어
quartz boat
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