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레이저^간섭^방법 편집하기 편집 금지 요청
분야
『공학 일반』
「001」식각 공정 시 웨이퍼 표면에 주사시키는 레이저의 반사파를 추적하여 파장이 노출되는 박막에 따라 변화하는 신호를 기준점으로 활용하는 방법.

대역어

영어
laser interference method
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