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분야
『공학 일반』
「001」식각 공정이 진행되는 동안에도 웨이퍼의 상태 또는 플라스마의 상태를 계속 조사하여 변화가 감지되는 시점에서 식각 작업을 정지하는 자료로 활용하는 방법.

대역어

영어
end point detection
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