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분야
『전기·전자』
「001」반도체 집적 회로의 제조 과정에서 회로 패턴을 기록하는 방식. 전자총·전자 렌즈·편향계(偏向系)·시료대(試料臺)로 이루어지며 텅스텐·육붕소화 란타넘 따위의 음극에서 방출된 전자선을 수십 kV로 가속하여 전자 렌즈로 수렴하고, 편광계에서 주사하여 미세한 패턴을 감광 재료에 노출(露出)한다.
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