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분야
『전기·전자』
「001」극자외선을 이용하여 실리콘 웨이퍼에 전자 회로를 새기는 기술.
극자외선 기술이 본격 상용화 되면…생산성도 획기적으로 높일 수 있다.≪데일리한국 2018년 2월≫
OO에 적용된 극자외선 기술은 기존보다 더 미세한 반도체 회로를 그리는 역할을 한다.≪비즈니스포스트 2021년 10월≫
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