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분야
『기계』
「001」증기 상태의 흡착질이 판데르발스 힘에 의해 기질 표면에 흡착되는 나노 공정의 하나. 물리적 증기 흡착 공정으로, 증기상(蒸氣相)과 기질 표면의 화학 반응에 의하는 화학적 증착과 구분된다.

대역어

영어
physical vapor deposition process
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