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분야
『정보·통신』
「001」실리콘 단결정층 사이에 절연층이 있는 구조의 웨이퍼. 회로를 형성하는 기판 표면과 하층 사이에 얇은 절연막층이 있어 소자의 성능을 높일 수 있다.

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비슷한말
에스오아이(SOl)

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