- 분야
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『공학 일반』
- 「001」나노 크기의 소자 표면 구조의 모양, 높이, 깊이 따위를 정확하고 빠르게 측정하기 위해 광학적, 자기적, 전기적 센서를 이용한 측정 기술.
관련 어휘
- 비슷한말
- 나노^계측^기술(nano計測技術)
대역어
- 영어
- nanometrololgy
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