- 분야
-
『물리』
- 「001」극자외선 영역의 파장을 띠는 빛을 감광막에 노출하여 원하는 패턴을 얻는 방법.
관련 어휘
- 비슷한말
- 이유브이엘(EUVL)
대역어
- 영어
- extreme ultraviolet lithography
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이 누리집은 대한민국 공식 전자정부 누리집입니다.
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