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건식^플라스마^에칭 편집하기 편집 금지 요청
분야
『재료』
「001」반도체 공정 과정에서, 얇은 웨이퍼에 마스크를 형성하는 방법.

관련 어휘

비슷한말
건식^플라스마^식각(乾式plasma蝕刻)

대역어

영어
dry plasma etching

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